作業場フォークリフトの動き、ファンやポンプの運転、隣接機器の始動・停止、さらには建物構造物が伝わる自然な微振動までが、1Hzから100Hzまでのフルレンジ振動を生み出します。

これらの振動は基礎を通じてコーティング機械に伝わり、ミクロンレベルの薄膜の世界では無限に増幅されます。人間の目には見えないわずかな振動でも、コーティングのダイヘッドと基板の間に相対的なずれが生じ、液体カーテンの安定性を損なうと、超薄層コーティングに致命的な欠陥が生じます。

01

フィルム表面の振動パターンを排除し、大量生産の歩留まりを安定させます

床や設備自体の振動が、水平木目やコーティングの不均一な厚さの主な原因です。 20Hz以上では、空気浮力振動隔離効率≥99%に達し、コーティングマシンの「防空ライン」を実質的に構築します。

大面積ペロブスカイト基板では、膜厚の偏差を±3%以内に制御でき、ピンホールや結晶形成の欠陥を効果的に減少させ、光電変換効率の変動を大幅に狭め、量産収率を8%〜15%向上させます。

02

高精度コーティングでは、コーティングヘッドがプロセス全体を通じて基板と完全に平行であることが必要です。 エアフローテーションシステムには通常、3セット以上の水平制御バルブが装備されており、「三点レベリング」の原理に基づく自動クローズドループレベリングを実現します。

機器の負荷がどう変わっても、膜の交換; スラリー消費; 広幅基板への高速送り、システムは自動的に充填・脱ガスを行い、固定された機器基準高さを維持します。荷重の変動は手動の再レベリングを必要としず、幅やフィルム厚の勾配の偏差を排除します。 レベリング精度は±0.01°に達し、エアフィルムの厚さは20〜50μmで制御され、機械的な硬摩擦サポートは発生しません。

03

多孔質のグラファイト空気浮力プラットフォームは機械摩擦がなく、直線運動で最大速度10m/sで動作可能で、ボールベアリングの上限3〜5m/sを大きく超えています。

転がる振動のない高速移動と、底層のエアフロート式衝撃吸収ベースの組み合わせにより、液体カーテンは広い基材の高速送りでも安定し、GWレベルの生産ライン能力とナノレベルのコーティング均一性のバランスを保っています。

同時に、このプロセス全体は非接触のエアフィルムサポートで、金属摩擦の破片や潤滑剤は不要です。 多孔質カーボンは自己ろ過特性を備えており、排気空気はISO1クリーンルーム基準を満たしており、ペロブスカイトやフレキシブルディスプレイなどの汚染に敏感なクリーンルームに最適です。

エアカットオフ時には圧力を緩和し、柔らかく着地することで、精密なガイドレールや基板への激しい衝突や傷を避けます

04

このコーティングマシンは、レーザー厚さ計や張力センサーなど、多数の精密な「感度神経」を統合しています。

エアフローティングショックアブソーバーは、これらの部品に安定した物理的環境を提供し、長時間の振動による精密なドリフトや損傷を防ぎます。

このシステムには摩耗しやすい機械式トランスミッション部品はなく、0.3〜0.6MPaのクリーンで乾燥した空気源のみを維持しています。 エアバッグゴム部品の寿命は最大15〜20年で、長期的な剛性ドリフトが最小限で、定期的な設備のレベリングやダンピング部品交換の頻度を大幅に減らし、生産ラインのダウンタイムやメンテナンス時間も短縮します。

パッシブ3ラインスイングエアフローテーションは複雑な電子制御を不要で、安定した構造を持ち、調達および保守コストも適度です。1〜100Hz帯域にわたる効率的な振動隔離を提供し、ペロブスカイト、リチウム電池、光学薄膜の多くの大量生産ラインのVC-D/VC-Eニーズを満たし、今日の工業コーティングにおいて最もコスト効率の良いソリューションとなっています

アクティブエアフローテーションは、受動的な基盤で「知覚・計算・実行」のクローズドループを追加します。圧電・容量センサーは6自由度の振動をマイクロ秒レベルの応答で捉え、DSPコントローラは適応フィルタリングアルゴリズムを用いてリアルタイムで逆作用力を計算し、補正力は圧電セラミックまたは電磁アクチュエータによって出力されます。

初期の振動隔離周波数は0.5Hzまで下げることができますが、装置は高価で制御システムも複雑なため、最高級の実験室用超高精度試作機や高級電子顕微鏡でのみ使用され、量産コーティングラインでの選択肢は非常に限られています。