실험형 결정질 실리콘 탠덤 페로브스카이트 슬롯 다이 코팅 장비

실험형 결정질 실리콘 탠덤 페로브스카이트 슬롯 다이 코팅 장비는 210mm*105mm 실리콘 웨이퍼용 페로브스카이트 기능층 코팅을 위해 특별 설계되었습니다.
본 장비는 코팅기, 공급액 유닛, 환경 밀봉 케이스 및 전자동 제어 시스템으로 구성됩니다. 결정질 실리콘 탠덤 페로브스카이트 공정에서의 후면 오염 방지 요구사항을 충족하기 위해 본 시스템은 특수 프리코팅 및 오버코팅 장치를 설계하여 기술 요구사항을 효과적으로 만족시켰으며, 관련 특허 출원이 완료되었습니다.

기술 파라미터

  • 전체 외부 치수 (mm)
    1125*900*2100
  • 기판 크기 (mm)
    210*105
  • 다이 자동 조정 정밀도 (μm)
    2
  • 속도 제어 범위 (mm/s)
    1-200
  • 코팅 건조막 두께 (nm)
    10-800
  • 코팅 용액 고형분 함량 (%)
    1-70
  • 코팅 용액 점도 (cps)
    1-100
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