HJT 탠덤 페로브스카이트 코팅 생산라인
본 장비는 HJT 탠덤 페로브스카이트 코팅 생산라인용으로 특별 설계되었으며, 182mm*105mm 실리콘 웨이퍼 크기 코팅이 가능하고, 210mm*105mm 기능층 코팅도 호환됩니다.
본 코팅 장비 시스템은 코팅기(공급액 시스템 포함), 환경 밀봉 케이스(유기용매 처리 장치 포함), 실리콘 웨이퍼 이송 로봇 메커니즘(카세트 승강 및 이송 기구 포함) 및 전자동 제어 유닛으로 구성됩니다.
본 시스템은 완전 자동 기계 이송 방식으로 기판을 코팅 플랫폼에 올리고 위치를 고정하며, 코팅 다이는 리니어 모터 제어하에 기능성 용액 코팅을 수행합니다. 그 후 샘플을 IR 적외선 가열로 예비 경화 건조하고, 최종적으로 코팅된 샘플을 자동으로 카세트로 이송하여 언로딩합니다.
본 코팅 시스템은 중국 최초의 양산 택트형, 완전 자동 결정질 실리콘 탠덤 페로브스카이트 코팅 생산라인입니다.
기술 파라미터
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전체 외부 치수 (mm)7500*4000*2500
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기판 크기 (mm)210*105/182*105
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다이 자동 조정 정밀도 (μm)2
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속도 제어 범위 (mm/s)1-200
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코팅 건조막 두께 (nm)10-800
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코팅 용액 고형분 함량 (%)1-70
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코팅 용액 점도 (cps)1-100
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생산 라인 택트 (pcs/h)≥60
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