자동화 코팅 3종 세트 장비
결정질 실리콘 탠덤 페로브스카이트 태양전지 자동화 코팅 3종 세트는 182mm*182mm 실리콘 웨이퍼 기능층 코팅을 위해 특별 설계되었습니다.
본 시스템은 코팅기(공급액 시스템 포함), 환경 밀봉 케이스(청정 집진, 유기용매 처리 장치 포함), 실리콘 웨이퍼 이송 로봇 기구, VCD 플래시 추출 장비, 적층식 퍼니스 어닐링 장비 및 전자동 제어 유닛 등으로 구성됩니다.
본 시스템은 카세트에서 자동 승강 완전 자동으로 웨이퍼를 픽업하여 코팅 → VCD 진공 용매 추출 → 적층식 퍼니스 어닐링을 완료한 후 최종적으로 카세트로 언로딩하는 세 가지 공정을 모두 자동으로 수행합니다.
기술 파라미터
| 코팅기 | |
| 전체 외부 치수 (mm) | 1880*1550*2200 |
| 기판 크기 (mm) | 182*182 |
| 다이 자동 조정 정밀도 (μm) | 2 |
| 속도 제어 범위 (mm/s) | 1-200 |
| 코팅 건조막 두께 (nm) | 10-800 |
| 코팅 용액 고형분 함량 (%) | 1-70 |
| 코팅 용액 점도 (cps) | 1-100 |
| 생산 택트 시간 (pcs/h) | ≥60 |
| VCD 플래시 추출 장비 | |
| 배기 방식 | 하부 배기 |
| 로딩/언로딩 방식 | 수동/자동 전환 가능 |
| 기판 사양 | 182mm*182mm 실리콘 웨이퍼, 두께 ≥100μm |
| 배기 시간 | ATM-10Pa≤I0s |
| 극한 진공도 | ≤1Pa |
| 누설률 | ≤1*10-9Pa*m³ /s |
| 통기 시간 | 10Pa-ATM:5-10s 초 조절 가능 |
| 택트 시간 | 60s |
| MFC N2 유량 | 0-2SLM 조절 가능 |
| 적층식 퍼니스 어닐링 장비 | |
| 제품 크기 | ≥200*200am |
| 공정 챔버 최고 온도 | 200℃ |
| 공정 사용 온도 범위 | RT～200℃ |
| 기판 내 온도 편차 | ≤士3%℃ |
| 기판 간 온도 편차 | ≤士3%℃ |
| 온도 정밀도 | ≤士1℃ |
| 챔버 승온 속도 | RKT-150℃≤8min |
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