정밀 실험형 평판 코터

고정밀실험형평판코터는코팅유닛,공급/세척 시스템,흡착 및 가열 기능을 겸비한 실험 스테이지,코팅 간격 폐쇄 루프 제어 시스템 및 자체 개발한 사용자 친화적 제어 시스템을 포함합니다.유리,실리콘 웨이퍼, PET필름, PI필름 등 기판 코팅이 가능합니다.

본장비는다수의성공적인납품사례를보유하고있으며,페로브스카이트 태양전지,수소 연료전지,양자점 디스플레이 등 고정밀 요구 분야 및 기타 고정밀 코팅 분야에서 널리 사용됩니다.


기술 파라미터

  • 장비 크기 (mm)
    1100*550*500
  • 기판 크기 (mm)
    100*100/200*200
  • 다이 헤드 자동 조정 정밀도 (μm)
    2
  • 속도 제어 범위 (mm/s)
    5-200
  • 코팅 건조 필름 두께 (nm)
    10-1000000
  • 필름 두께 균일도 (%)
    ≤5(점도 70, 접착제, 건조 필름 500nm)
  • 고형분 (%)
    1-70
  • 점도 (cps)
    1-10000
  • 가열 기능 (℃)
    RT-150
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