기술 파라미터
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장비 크기 (mm)1700*1300*2050
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기판 크기 (mm)300*300
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다이 헤드 자동 조정 정밀도 (μm)2
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속도 제어 범위 (mm/s)1-200
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코팅 건조 필름 두께 (nm)10-100000
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필름 두께 균일도 (%)≤4 (점도 70, 접착제, 건조 필름 500nm)
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고형분 (%)1-70
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점도 (cps)1-10000
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